Setelah melaksanakan sholat tahajud, dilanjutkan dengan membaca dzikir 'Astaghfirullah 'azhiim' sebanyak tiga kali. Kemudian, membaca doa sholat tahajud sebagai berikut:
اَللّٰهُمَّ لَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ قَيِّمُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ مَالِكُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ نُوْرُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ الْحَقُّ وَوَعْدُكَ الْحَقُّ وَلِقَاءُكَ حَقٌّ وَقَوْلُكَ حَقٌّ وَالْجَنَّةُ حَقٌّ وَالنَّارُ حَقٌّ وَالنَّبِيُّوْنَ حَقٌّ مُحَمَّدٌ صَلَّى اللهُ عَلَيْهِ وَسَلَّمَ حَقٌّ وَالسَّاعَةُ حَقٌّ اَللّٰهُمَّ لَكَ اَسْلَمْتُ وَبِكَ اَمَنْتُ وَعَلَيْكَ تَوَكَّلْتُ وَاِلَيْكَ اَنَبْتُ وَبِكَ خَاصَمْتُ وَاِلَيْكَ حَاكَمْتُ فَاغْفِرْلِيْ مَاقَدَّمْتُ وَمَا اَخَّرْتُ وَمَا اَسْرَرْتُ وَمَا اَعْلَنْتُ وَمَا اَنْتَ اَعْلَمُ بِهِ مِنِّيْ، اَنْتَ الْمُقَدِّمُ وَاَنْتَ الْمُؤَخِّرُ لاَاِلَهَ اِلاَّ اَنْتَ، وَلاَ حَوْلَ وَلاَ قُوَّةَ اِلاَّ بِاللهِ
Latin: Allahumma lakal hamdu anta qayyimus samawaati wal ardhi wa man fiihinna, walakal hamdu, laka mulku samaawaati wal ardhi wa man fiihinna, walakal hamdu, anta nuurus samaawaati wal ardhi wa man fiihinna, wa lakal hamdu, anta malikus samaawaati wal ardhi, wa lakal hamdu, antal haqqu, wawa’dukal haqqu, waliqaa uka haqqun, waqauluka haqqun, wal jannatu haqqun, wan naaru haqqun, wannabbiyuuna haqqun, wa muhammadun sallaahu ‘alaihi wa sallama haqqun, wassa’atu haqqun.
Allahumma laka aslamtu, wa bika aamantu, wa alaika tawakkaltu, wa ilaika anabtu, wabika khaashamtu, wa ilaika hakamtu, faghfir lii maa qaddamtu wa maa akhrartu, wamaa asrartu wamaa a’lantu, antal muqaddimu wa antal muakhkhiru, laa ilaaha illaa anta.
Artinya: “Ya Allah, bagiMu segala puji, Engkau penegak langit, bumi, dan apa yang ada padanya. Bagi-Mu lah segala puji, kepunyaan Engkaulah kerajaan langit, bumi, dan apa yang ada padanya. Bagi-Mulah segala puji, Engkaulah Pemberi cahaya langit dan bumi dan apa saja yang ada di dalamnya. Bagi-Mulah segala puji, Engkaulah Penguasa langit dan bumi. Bagimulah segala puji, Engkaulah Yang Maha Benar, janji-Mu itu benar, bertemu dengan-Mu adalah benar, firman-Mu adalah benar, surga itu benar, neraka itu benar, para nabi itu benar, Muhammad shallallahu ‘alaihi wa sallam itu benar, kiamat itu benar. Ya Allah, hanya kepadaMulah saya berserah diri, kepada-Mulah saya beriman, kepada-Mu saya bertawakal.
Kepada-Mu saya kembali, kepada-Mu saya mengadu, dan kepada-Mu saya berhukum. Maka, ampunilah dosaku yang telah lampau dan yang kemudian, yang saya sembunyikan dan yang terang-terangan, dan yang lebih Engkau ketahui daripada saya. Engkaulah yang mendahulukan dan Engkaulah yang mengemudiankan, tidak ada tuhan melainkan Engkau”.
Itulah doa sholat tahajud lengkap dengan bacaan Arab, latin, dan artinya. Urutan pelaksanaan sholat tahajud tidak berbeda dengan sholat fardhu. Yang membedakannya adalah bacaan niat, waktu pelaksanaan, dan doa yang dianjurkan untuk dibaca setelahnya.
Wallahu A'lam