1. Membaca niat sholat tahajud
2. Membaca doa iftitah
3. Membaca surat Al-Fatihah
4. Membaca surat di dalam Alquran (afdholnya rakaat pertama bacaan sholat tahajud Al-Kafirun dan kedua Al Ikhlas)
5. Rukuk sambil membaca tasbih tiga kali
6. Iktidal
7. Sujud dan membaca tasbih tiga kali
8. Duduk di antara dua sujud
9. Sujud kedua sambil membaca tasbih tiga kali
10. Lakukan hal yang sama di rakaat kedua hingga tasyahud akhir dengan membaca salam