Tata Cara Sholat Sepertiga Malam, Niat, Bacaan, Waktu, Keutamaan

2. Takbiratul Ihram
3. Membaca Doa Iftitah
4. Membaca Surat Al Fatihah
5. Membaca Surat Al Baqarah ayat 284-285 pada rakaat pertama
6. Ruku
7. I'tidal
8. Sujud
9. Duduk di Antara Dua Sujud
10. Sujud kedua
11. Berdiri untuk mengulang rakaat kedua dan ketiga
12. Pada rakaat kedua setelah membaca Surat Al Fatihah dianjurkan membaca Surat Ali Imran 18-19 dan 26-27. 
13. pada Rakaat ketiga dianjurkan membaca Surat Al Ikhlas
14. Salam

Doa Sholat Tahajud

Selesai melaksanakan sholat tahajud dilanjutkan dengan membaca dzikir setelah sholat. Astaghfirullah 'adhiim sebanyak tiga kali.

Setelah itu membaca doa sholat tahajud sebagai berikut:

اَللّٰهُمَّ لَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ قَيِّمُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ مَالِكُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ نُوْرُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ الْحَقُّ وَوَعْدُكَ الْحَقُّ وَلِقَاءُكَ حَقٌّ وَقَوْلُكَ حَقٌّ وَالْجَنَّةُ حَقٌّ وَالنَّارُ حَقٌّ وَالنَّبِيُّوْنَ حَقٌّ مُحَمَّدٌ صَلَّى اللهُ عَلَيْهِ وَسَلَّمَ حَقٌّ وَالسَّاعَةُ حَقٌّ

اَللّٰهُمَّ لَكَ اَسْلَمْتُ وَبِكَ اَمَنْتُ وَعَلَيْكَ تَوَكَّلْتُ وَاِلَيْكَ اَنَبْتُ وَبِكَ خَاصَمْتُ وَاِلَيْكَ حَاكَمْتُ فَاغْفِرْلِيْ مَاقَدَّمْتُ وَمَا اَخَّرْتُ وَمَا اَسْرَرْتُ وَمَا اَعْلَنْتُ وَمَا اَنْتَ اَعْلَمُ بِهِ مِنِّيْ، اَنْتَ الْمُقَدِّمُ وَاَنْتَ الْمُؤَخِّرُ لاَاِلَهَ اِلاَّ اَنْتَ، وَلاَ حَوْلَ وَلاَ قُوَّةَ اِلاَّ بِاللهِ

Allaahumma lakalhamdu anta qayyimus samawaati wal ardhi wa man fiihinna, walakal hamdu, laka mulku samaawaati wal ardhi wa man fiihinna, walakal hamdu, anta nuurus samaawaati wal ardhi wa man fiihinna, wa lakal hamdu, anta malikus samaawaati wal ardhi, wa lakal hamdu, antal haqqu, wawa’dukal haqqu, waliqaa uka haqqun, waqauluka haqqun, wal jannatu haqqun, wan naaru haqqun, wannabbiyuuna haqqun, wa muhammadun sallaahu ‘alaihi wa sallama haqqun, wassa’atu haqqun.