1. Membaca niat dalam hati.
2. Setelah membaca niat, lanjutkan dengan membasuh wajah menggunakan kedua tangan yang telah ditempel dengan debu suci. Tangan sebelah kanan membasuh wajah sebelah kiri, sedangkan tangan sebelah kiri membasuh wajah sebelah kanan.
3. Selanjutnya, membasuh kedua tangan sampai siku secara bergantian. Tangan sebelah kanan membasuh tangan kiri dan tangan kiri membasuh tangan sebelah kanan.
4. Bertayamum harus dilakukan secara tertib dan berurutan, dari rukun pertama sampai selanjutnya. Tahapannya tidak boleh dibalik dengan membasuh kedua tangan kemudian wajah. Dianjurkan juga untuk membaca doa tayamum seperti berikut:
أَشْهَدُ أَنْ لاَ إِلَهَ إِلاَّ الله وَحْدَهُ لاَ شَرِيْكَ لَهُ وَأَشْهَدُ أَنَّ مُحَمَّدًا عَبْدُهُ وَرَسُوْلُهُ. أَللَّهُمَّ اجْعَلْنِى مِنَ التَّوَّابِيْنَ وَاجْعَلْنِيْ مِنَ الْمُتَطَهِّرِيْنَ وَاجْعَلْنِيْ مِن عِبَادِكَ الصَّالِحِيْنَ. سُبْحَانَكَ اللَّهُمَّ وَبِحَمْدِكَ أَشْهَدُ أَنْ لاَ اِلَهَ اِلاَّ أَنْتَ اَسْتَغْفِرُكَ وَأَتُوْبُ إِلَيْكَ.
Asyhadu an laa ilaaha illallah wahdahu laa syarikalahu wa asyhadu anna muhammadan 'abduhu warasuluhu. allahummaj'alni minat tawwabiina waj'alnii minal mutathohhiriina waj'alni min 'ibadikash sholihin. subhanakallahumma wabihamdika asyhadu anlaa ilaaha illa anta astaghfiruka wa atuubu ilaihi.
Artinya: Aku bersaksi bahwa tiada Tuhan selain Allah, Maha Esa dan tidak ada sekutu bagi-Nya. Dan aku bersaksi bahwa Nabi Muhammad adalah hamba dan utusan-Nya. Ya Allah, jadikanlah aku termasuk orang yang ahli taubat, jadikanlah aku termasuk orang yang ahli bersuci dan jadikanlah aku termasuk golongan hamba-hamba-Mu yang shalih. Maha Suci Engkau Ya Allah dan dengan memuji-Mu. Aku bersaksi bahwa tidak ada Tuhan selain Engkau. Aku mohon ampun dan bertaubat kepada-Mu.
Demikian adalah tata cara tayamum yang benar lengkap beserta rukun, niat dan doanya. Tayamum memang lebih sederhana daripada berwudhu atau mandi wajib, tetapi hal ini dilakukan ketika dalam kondisi darurat tanpa air.